国家/地区 美国(27) 韩国(25) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 世界知识产权组织(4)
IPC部 H(28) C(7) B(5)
G(3) F(2)
IPC大类 H01(28) C01(6) B32(2)
B82(2) C23(2) F21(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(24) C01B(6) H01J(4)
H01B(3) H01M(3) B32B(2)
B82Y(2) C23C(2) F21K(2)
G01N(2)
IPC H01L029/16(16) H01L029/78(11) H01L029/66(10)
H01L021/336(7) H01L029/06(6) H01L021/02(5)
H01L029/778(5) H01L029/786(5) H01J001/304(4)
C01B031/04(3) H01B001/04(3) H01J001/30(3)
H01J009/02(3) H01L021/768(3) H01L029/267(3)
发明人 LEE J(9) PARK S(9) LEE J H(8)
LEE C(7) SHIN H(7) SHIN H J(6)
LEE C S(5) LEE D(5) PARK S J(5)
HEO J(3) KIM H(3) KIM Y(3)
KIM Y C(3) LEE D G(3) LEE M(3)
公开年 2015(29)
申请年 2014(18)  2015(8)  2013(3) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(29)

LEE C, SHIN H, PARK S, IM D, PARK H, SHIN K, LEE J, LIM H, LEE C S, SHIN H J, PARK S J, IM D H, SHIN K W, LEE J M, LIM H J, PIAO X